目前用于角膜屈光手术的准分子激光是有氟化氩（ArF）混合气体产生的193nm波长的激光，这个波长的准分子激光是一种超紫外的冷激光。每一个光子具有很高的能量，作用于生物组织所依靠的不是热效应，而是光化学效应，也就是说激光可以直接作用于生物组织的化学键使其断裂，从而使组织细胞的分子汽化，因此可以达到很高的切削精度。
　　准分子激光是一种冷激光，产生的热效应非常小（如果激光频率很高，也会有一定的热效应），因此只作用于被照射部位的组织，而对被照射区域之外的组织基本不会产生任何影响，这些特性使得ArF激光成为眼科屈光手术最理想的一种激光。
　　ArF混合气体产生的波长193nm的准分子激光治疗屈光不正的时候，每一个脉冲可消融0.2微米的角膜组织。由于屈光不正有近视、远视、散光等不同的类型，设计角膜切削形态也是根据屈光不正来确定的。例如，矫正近视的时候，需要将角膜中央区的组织切削，使得中央区角膜弯曲度降低，角膜组织切削的深度也是根据近视度数和选择的光学区直径来确定的。